Rutenijska meta

Antioksidans, otporan-na koroziju i ravnomjerno{1}}formiranje filma, pružajući vrlo pouzdano rješenje za taloženje-filma za poluvodiče i aplikacije za pohranu podataka.

Meta za raspršivanje rutenija je meta za raspršivanje od plemenitih metala platinske grupe proizvedena od rutenija visoke-čistoće (Ru) rafiniranjem, taljenjem, kovanjem i preciznom strojnom obradom. Prvenstveno se koristi u procesima magnetronskog raspršivanja fizičkog taloženja iz pare (PVD). Ovaj proizvod ima visoko talište, visoku tvrdoću, izvrsnu otpornost na oksidaciju i kemijsku stabilnost, što omogućuje proizvodnju jednolikih i gustih rutenijevih filmova. Pronalazi opsežne primjene u naprednoj poluvodičkoj memoriji, interkonekcijama integriranih krugova, slojevima difuzijske barijere i uređajima za pohranu i prikaz podataka.

Pošaljite upit

Opis proizvoda

Ova serija rutenijevih meta proizvedena je od- sirovina rutenija visoke čistoće, postižući visoku gustoću i ujednačenu mikrostrukturu kroz lučno taljenje i procese rafiniranja zrna. Proizvodi su dostupni u različitim konfiguracijama, uključujući planarne mete i rotirajuće mete, te podržavaju usluge indija-vezivanja/elastičnog tijela-vezivanje stražnje ploče, što ih čini prikladnima za aplikacije DC raspršivanja.

Značajka

Visoke čistoće, konvencionalni stupanj, dostupan u specifikacijama ultra-visoke čistoće.
Visoka tvrdoća, izvrsna otpornost na trošenje i vrhunska otpornost na oksidaciju i koroziju.

Pretjerano visoko talište uz izvrsnu stabilnost-na visoke temperature.
Film pokazuje ravnomjerno taloženje i visoku gustoću, što ga čini prikladnim za napredne procese proizvodnje poluvodiča.

Specifikacije i modeli

Za prilagođene dimenzije, debljinu, čistoću ili tehničke specifikacije, slobodno nas kontaktirajte. Možemo pružiti prilagođena rješenja za materijale na temelju vaše opreme za raspršivanje, zahtjeva za premazivanje i specifikacija dimenzija.

Dimenzija klasifikacije	Vrsta proizvoda	Osnovne značajke
Stupanj čistoće	Različiti stupnjevi čistoće	Opća-namjena za poluvodiče, zaslone i memorijske uređaje.
Format proizvoda	Kružna planarna rutenijska meta	Standardne specifikacije, kompatibilne s većinom opreme za prskanje.
	Rutenijska meta u obliku pravokutnika/-bloka	Prikladno za-premazivanje velikih površina.
	Rotirajuća meta od rutenija	Prikladno za veliko-područje, visoko-učinkovito taloženje.

Primjena

Poluvodiči: elektrode kondenzatora DRAM/MIM, slojevi difuzijske barijere međusobnog povezivanja.
Napredna pohrana: magnetska pohrana, fazna-memorija, rezistivna memorija.
Integrirani krug: bakreni međuspojni početni sloj, barijerni sloj i logički uređaj.
Uređaji za prikaz: ravni-zasloni, OLED elektrode s tankim-filmom.
Optoelektronika i fotonapon: optičke prevlake, funkcionalni slojevi fotonaponskih ćelija.
Precizna elektronika:-električni kontakti otporni na habanje, otpornici s debelim{1}}slojem, senzori.

Popularni tagovi: rutenijska meta, Kina rutenijska meta proizvođači, dobavljači, tvornica